CR内のケミカル汚染物質監視

概要

おもな特徴

• 分子汚染物質による製品の不具合発生率の低減（物質濃度低減による効果）
• 建築部材などからの有機ガスやアンモニアなどの分子汚染物質を低減
• コンクリート、塗床材（塗料）、シール材、電線における対策品を製品化
  有機ガス発生量＝ 1/10以下　アンモニア発生量＝ 1/2以下

概要

1. 分子汚染物質は、半導体や液晶デバイス生産の際にプロセス薬品の正常な化学反応を阻害したり、シリコンウェハやガラス基板に吸着して残存し最終製品の性能を低下させる性質を持っている。
   また、分子汚染物質同士の化学反応による微粒子発生も懸念されている。
2. その問題を引き起こす汚染物質を特定し、それを建設部材から発生させない材料の選定が重要になる。
3. 本技術は、特にアンモニアと有機ガス、シリコンウェハに吸着しやすい有機物質を対象に発生を抑制する材料を開発した。

1.低アンモニア放散型コンクリート

• アンモニア発生量が1/2～1/10
  （従来品比）
• 配合などにより発生量を調整可
• 価格は従来品の約2倍程度

2.クリーンルーム用塗床材

• 有機ガス発生量が1/10以下で、アンモニア発生量が1/2以下(従来品比)
• 一般用、耐薬品用、帯電防止用など多彩な品揃え
• 価格は従来品程度

3.クリーンルーム用低アウトガスケーブル

• 有機ガス発生量が従来のエコケーブルの1/10以下
• シリコンウエハなどに吸着する成分の発生が極めて少ない
• 施工性、耐難燃性も従来品同程度

4.クリーンルーム分子汚染対策用シーリング材

• 半導体・液晶工場等、スーパークリーンルーム用の分子汚染防止のためのアウトガス対策用シーリング材
• 1成分形ポリウレタン系無溶剤タイプで、有機ガスの発生が極めて少ない
• シロキサンを含まない
• 表面硬化が速い
• 400cc/本ソーセージタイプ
• 販売単位:20本入カートン
• 専用ガンを使用

5.クリーンルームアウトガス対策用あと施工アンカー(エポキシアクリレート系樹脂)

• カートリッジタイプの二液注入式(350cc/本)
• 専用ガン使用で撹拌不要・計量手間不要
• 安定した施工品質の高い接着系アンカー
• シロキサンを含まない
• 溶剤などの揮発成分を含まない為、収縮がほとんどない(スチレンフリー)
• 速硬化タイプ
• 優れた引抜耐力