微振動対応免震

概要

おもな特徴

常時

微振動環境が免震装置により悪化することはなく、常時の微振動環境として、1μm -1gal以下を確保します。

大地震時

免震効果による応答加速度を大幅に低減します。

調整可能

条件に応じてトリガーレベルの調整が可能です。

超精密環境施設で求められている、常時での微振動環境を悪化させることなく、大地震時での施設・生産ラインの確保を目的とした装置対応の免震装置。
超精密関連企業のBCPに対応したの1つです。

具体的内容

装置対応の免震装置は、リニア・レールとバネとオイルダンパーとからなる免震機構に、トリガー機構として摩擦ダンパーを組合わせることにより、

1. 常時はトリガー機構により固定されて微振動環境を維持し、
2. あらかじめ設定した地震以上の大きさの地震からは、トリガーがはずれて免震機能が作用し、重要な生産装置・検査装置の移動・転倒を防止する微振動対応の装置免震です。