シミズ分子汚染対策システム

先進の研究開発と豊富な実績に裏付けられた清水の独自技術で、分子レベルのクリーン環境を実現します。

• 企画から設計、施工、運用まで一貫した分子汚染対策を提供します。
• 極微量の汚染分子を正確に分析、評価します。
• 汚染分子の発生を防止する適切な材料、工法を選択します。
• 適切なゾーニングと気流・室圧制御によって汚染分子の拡散とクロスコンタミネーションを防止します。
• シミズ独自のケミカルフィルターと純水エアワッシャーを組み合わせたトータルケミカルクリーンシステムによって汚染分子を高効率に除去します。

概要

高集積化、微細化が進む最先端の半導体・液晶の生産、研究施設ではより高度な超精密環境が必要とされています。シミズでは、実証試験と数多くの実績に裏付けられた独自技術をベースに、建築と設備を統合した分子汚染対策を実現します。

トータルコーディネイトによる分子汚染対策

シミズ独自のケミカルフィルタ（特許出願中）