ファブ・エネルギー・シミュレーション

環境に優しい半導体工場を短期間で設計施工できるシミュレーション技術を確立しました。
核となるシミュレーション技術は、半導体生産装置の省エネを図る「ファブ・エネルギー・シミュレーション・システム(FES)」です。

概要

半導体の生産工程に沿って待機・始動・停止を繰り返す各生産装置の秒単位のエネルギー消費特性を踏まえて、パソコンの画面上で時々の需要総量とエネルギー消費している装置を“見える化”するものです。半導体工場では多くの生産装置が同時稼働し、それぞれエネルギー消費特性が異なり、かつ生産ラインが何ルートにも分かれていることから、生産工程の実態に即した形でエネルギー需要総量をリアルタイムに予測するのは容易ではありません。そこで、FES上では、設備設計者がパソコン画面上で、生産工程と生産ラインに投入する物量を調整し、かつ所定の生産効率を維持しながら、電力や各種エネルギーのピークカットを図る生産計画を提案できるようにしました。

知見をシステムのプログラムに反映し、技術者の経験を問わず非常に高度で画一的な解が得られる完成度の高いシステムがFESです。

メリット

各生産装置の経時消費電力の見える化が進み、半導体工場全体としての経時電力需要を的確に把握できます。これにより、適切な契約電力を求めることができるので、従来に比べ契約電力を20％程度削減できます。