セミコン・ジャパン2011に出展 ～「スマートファブシステム」を新たにご紹介～

８回目の出展となる今回は、省エネルギー・地震災害対策などの技術を統合した当社独自の「スマートファブシステム」を新たにご紹介しました。このシステムは、東日本大震災を契機に導入検討が加速化しており、ご来場者の関心を集めた展示となりました。

また、半導体、大型液晶、電子材料や製造装置など、各分野における世界最先端の生産施設づくりの豊富な実績に加え、ハイレベルな環境づくりを実現する保有技術も展示しました。

「タスク＆アンビエントクリーン空調」と「慣性回転質量ダンパー」を映像で紹介し、住所を入れるだけでリスクが分かる「地震リスク診断コーナー」や地震関連技術にも高い関心が集まりました。

「ケミカルファンフィルターユニット」や「リアルタイムケミカル成分モニタリングシステム」の実機に加え、お客様のパートナーとしてファブの構想から運用までの様々な段階を支援する各種シミュレーション技術も展示しました。