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32vol.69スーパーナノクリーンルーム・システム構成技術分子状汚染物質濃度は、汚染物質の外部からの持込み、内部発生、除去装置の性能に影響を受ける。本システムでは、除去効率を考慮して、湿式方式と乾式方式による外気処理システムと一部循環方式と全循環方式による内部循環処理システムを組合せたシステムとした。外気処理方式　[外調機水膜による湿式方式 ＋　　　　　　 ケミカルフィルタによる乾式方式]内部循環処理　[一部循環処理方式　＋　全循環処理方式]計画・設計技術外気用ケミカルフィルタ純水水膜ケミカル除去装置外調機除湿機ケミカルフィルタチャンバ外気用ULPAフィルタ外気処理FFU＋循環用ケミカルフィルタ床置循環ケミカルフィルタユニット一部循環処理方式(有機ガス・アンモニア)全循環処理方式(アンモニア)ファン付ドライコイル電源ケーブルシーリング材コンクリート循環用ULPAフィルタスーパーナノクリーンルーム対象物質目標気中濃度達成濃度有機ガス1μgC/㎥以下0.10μgC/㎥アニオンF－1ng/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下3ng-B/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下1ng/㎥以下0.2ng/㎥以下<0.04ng/㎥Cl－0.36ng/㎥NO2－NO3－<0.14ng/㎥<0.08ng/㎥SO42－0.09ng/㎥カチオンNH4＋0.65ng/㎥ドーパント類B0.01ng/㎥P0.73ng/㎥0.32ng-B/㎥金属類Na＋<0.04ng/㎥<0.04ng/㎥<0.04ng/㎥<0.04ng/㎥K＋Fe3＋Cu2＋ドーパント対象分子状汚染物質目標気中濃度と達成濃度

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